-
-

Создание сайта
интернет-агентство «BREVIS»


 
Рентгенотелевизионная микроскопия
  • Увеличение от 1 до 500-кратного, напряжение на анодах рентгеновских трубок от 10 до 150 кВ, разрешающая способность в пределах от 20 до 200 пар лин/мм
  • Микроскопы типов - МТР-3И, МТР-4, МТР-7
Растровая электронная микроскопия
  • Получаемое увеличение до 100000x при разрешении 200 А
  • Глубина резкости - несколько десятков мк
  • Растровый электронный микроскоп «JSM-35CF»

Контроль газовой среды в подкорпусном объеме герметизированных изделий

разрешающая способность, не менее 1200

Чувствительность:
к углекислому газу, не менее 1,5•10 -2 Кл/г
к парам воды, не менее 1,0•10 -5 Кл/г

Рентгеноcпектральный Микроанализ

  • Диапазон от Na (11) до U (92), концентрационное распределение элементов по поверхности образца или по линии
  • Локальность анализа по глубине - до 10 мкм, пространственная ~1 мкм, абсолютная локальная чувствительность 1 --15 г
  • Растровый электронный микроскоп «JSM-35CF» с приставкой для рентгеноспектрального микроанализа «Link Systems-860-II»
Контроль герметичности
  • Предельная чувствительность установок для изделий, имеющих свободные внутренние объемы или представляющих собой герметичные перегородки и уплотнения порядка 1•10 -11 м 3 •Па/с
Определение состава газовой подкорпусной среды изделий
  • Диапазон а.е.м. 2-300. Чувствительность установки к парам воды ~ 500 ppm
Электронная ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИЯ

Контроль чистоты поверхности
  • Si-пластины на различных этапах технологического процесса
  • кристалла ИС, посаженного в корпус
  • корпусов ИС (траверсов, места посадки кристалла)
Режимы
  • энергия первичных электронов 3 кэВ
  • ток первичных электронов 5 10 -7 А
  • вакуум 10 -9 мм рт.ст.
  • ионная очистка
Copyright © 2000-2017 ИТЦ АНО «АКНИИПО»
125319, г.Москва, Авиационный переулок, д.5
Тел./Факс: +7 (499) 152-60-81, (499) 152-56-61
Главная | Проекты | Испытания | Исследования | Экспертиза | Сертификация | Статьи | Контактная информация